Про знаменитості
Орліковський Олександр Олександрович: біографія
День народження 12 червня 1938
радянський і російський фізик, академік РАН, доктор технічних наук, професор, директор Фізико-технологічного інституту РАН
Біографія
Випускник Московського інженерно-фізичного інституту 1961 року.
У 1961-1963 роках робота в Союзній науково-дослідному інституті приладобудування.
У 1963 -1966 роках аспірант Московського інституту електронного машинобудування.
У 1969-1984 роках (послідовно) старший викладач, доцент, професор кафедри інтегральних напівпровідникових схем (нині кафедра інтегральної електроніки та мікросистем) Московського інституту електронної техніки.
У 1981-1985 роках старший науковий співробітник сектора мікроелектроніки Фізичного інституту ім. П. М. Лебедєва (ФІАН), в 1985-1988 роках завідувач лабораторії мікроструктурірованія і субмікронних приладів відділу мікроелектроніки Інституту загальної фізики (Иофана).
З 1988 року (після виділення відділу у Фізико-технологічний інститут) завідувач лабораторією (1988-2001), заступником директора з наукової роботи (2001-2005),директорФТІАН (з 2005 року).
Починаючи з роботи в MIET, наукова кар'єра і діяльність Орліковського тісно пов'язана з науковою кар'єрою та діяльністю академіка Валієва. Орліковський, як і Валієв, послідовно переходить спочатку в ФІАН, потім у Иофана і в ФТІАН. Нарешті, в 2005 році, коли Валієв пішов з посади директора ФТІАН, новим директором був обраний саме Орліковський.
Читає лекції на кафедрі фізичних і технологічних проблем мікроелектроніки факультету фізичної і квантової електроніки МФТІ.
Член-кореспондент РАН (2000), академік РАН (2006) по Відділенню нанотехнологій та інформаційних технологій.
Основні наукові результати
- Розроблено нові технології сілідізаціі контактів до мелкозалегающім pn переходах ; отримані пріоритетні результати в дослідженнях кінетики фазоутворення силіцидів.
- Розроблено оригінальні конструкції НВЧ і ВЧ джерел високооднородних потоків щільної плазми; створені автоматизовані технологічні плазмові установки, призначені для застосування як в дослідних, так і в промислових цілях;
- Розроблено фізичну модель балістичних нанотранзисторов зі структурою «кремній на ізоляторі» з урахуванням квантових ефектів; створені нанотранзистори із суб-100 нм каналами.
- Виконано з впровадженням в спецапаратури піонерські роботи по напівпровідникових інтегральних схем пам'яті ( концепція, схеми вибірки, структури, колективні явища).
- Розроблено плазмові процеси (травлення, осадження, імплантації та ін) в технології кремнієвої наноелектроніки; розроблені методи моніторингу плазмових процесів, створені високочутливі детектори моменту закінчення процесів; розроблений томограф низькотемпературної плазми для контролю 2В-розподілів концентрацій радикалів та іонів.
Джерела
- Академікові Орліковський Олександру Олександровичу - 70 років! / / Сайт РАН
- Біографія на сайті ФТІАН
- Інформація на сайті РАН